氦质谱检漏方法 ( 以下简称氦检)以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。 氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种,由于后者需将 设备完全抽成真空状态, 往往会增加测试用设备( 如高、低压真空泵、真空阀等)和设备工装 ( 如 外压加强圈)而使造价提高,所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备;对于大多数压力容器而言,通常优先选用前一种方法。于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的,所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果,因此,测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。杭州便携式氦质谱检漏仪售后服务
氦质谱检漏仪在管道检测方面有两种检测方法,负压法和正压法,一般化工管道采用的是负压法。负压法就是常说的抽真空,这是氦质谱检漏仪常用的检漏方法。检漏的方式是:链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪,用真空泵组把管道抽真空,达到一定真空度。使用氦气喷口在管道密封接头,焊缝处喷氦,如果被检管道某处有泄漏,当氦喷到漏孔上时,氦气会立刻被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室内,氦质谱检漏仪感应到氦就会立刻有响应。从而达到了检漏的结果。氦气是较轻的惰性气体,在喷出时会自动上升,为了准确找到漏孔位置喷氦,使用此方法时喷氦自上而下,由近至远(相对检漏仪的位置),这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入;漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。杭州便携式氦质谱检漏仪售后服务氦质谱检漏仪真空压力法主要应用于结构简单、压力不是特别高的密封产品。
氦质谱检漏仪的优点集中在以下几个方面:(1)便携性:许多小型便携式检漏仪不只灵敏度高,而且便于携带,为野外作业和高空作业提供了极大的便利。(2)高压强下检漏:检漏口的压力可高达数百帕,对于检测大系统和泄漏工件非常有用。(3)高度自动化:氦峰自动标定,零点自动调整,量程自动转换,数据自动处理,可外接打印机。全机由微电脑控制,具有选菜功能,一键完成全检漏过程。(4)完全无油的干式检漏:一些国家生产的检漏仪可以采用干式泵,达到无油蒸汽的效果,为无油系统、晶片等半导体器件的检漏提供了有利条件。为适应检漏口压力的变化和对灵敏度的不同要求,分子泵一般采用多段结构,多速。如果改变分子泵的转速,可以达到这个目的,提高检漏灵敏度。此外,反扩散检漏方法实现了高压强下检漏,也为正压吸口检漏提供了良好的条件。
氦质谱检漏仪主要性能指标试验方法:灵敏度、反应时间、清理时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。反应时间、清理时间及其测定:反应时间是指仪器节流阀完全开启,本底讯号为零(或补偿到零)时,由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间,记为τR。清理时间是指输出仪表讯号稳定到值后,停止送氦,其讯号下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的时间,记为τC。工作真空、极限真空及入口处抽速,质谱室极限真空,尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素有哪些?
氦质谱检漏仪的结构组成:它通过质谱室的重点供电和测量,所以作为供电的重点部分,其中一部分属于真空部分,对这部分的重点检测要求非常高,通过检测中获得的检测数据输出形成重点装置。然后氦质谱检漏仪主要通过控制电流输出的大小,由于气密性检测仪离子流收集极接收到的离子流很小,必须放大后才能显示输出。通过交流放大器放大调制的离子流。输出信号由显示仪表和声音装置(扬声器)指示。低频发生器,低频发生器产生频率为5~7Hz,振幅为14~16V的调制电压,该电压叠加在加速电压上,实现离子流调制。高压整流器和发射电流稳定装置。发射电流稳定装置是调节灯丝加热电流,从而保持灯丝发射电流稳定,提高灵敏度。发射电流可以分几个档次进行有级调节,以改变仪器的灵敏度。高压整流器提供冷阴极磁控电源。真空规放电电流指示气体压力值,由仪器显示,其放电电流也作为继电保护的输入信号。当质谱检漏仪室真空度恶化时,放电电流增大,使继电器动作,然后切断灯丝加热电流,保护灯丝不被烧毁。怎么确定氦质谱检漏仪用于镀膜设备的灵敏度?常州自动氦质谱检漏仪报价
氦质谱检漏仪灵敏度降低可以先用细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件。杭州便携式氦质谱检漏仪售后服务
氦质谱检漏仪日常维护:1、定期更换灯丝,清洗冷规。2、定期更换机械泵油,适时对机械泵加油。3、如加液氮,需定期清洗冷阱。4、拆卸氦质谱检漏仪部件后,安装时要避免安装处出现泄漏。5、适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗,排除漏点。氦质谱检漏仪灵敏度降低怎么维护?先用较细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件,这里不能用粗砂纸,因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电极部件;然后用航空汽油或无水乙醇清洗,并用去离子水冲洗干净;较后用烘箱或电吹风进行干燥。整个清洗过程中需要注意,分析管道上的磁铁不能撞击、不能受热,否则可能导致磁铁退磁,使检漏仪的灵敏度降低。如果操作正确,经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2~3倍。杭州便携式氦质谱检漏仪售后服务
上海妤林真空设备技术有限公司在同行业领域中,一直处在一个不断锐意进取,不断制造创新的市场高度,多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准,在上海市等地区的仪器仪表中始终保持良好的商业口碑,成绩让我们喜悦,但不会让我们止步,残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志,和谐温馨的工作环境,富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新,勇于进取的无限潜力,上海妤林真空设备供应携手大家一起走向共同辉煌的未来,回首过去,我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜,相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围,我们更要明确自己的不足,做好迎接新挑战的准备,要不畏困难,激流勇进,以一个更崭新的精神面貌迎接大家,共同走向辉煌回来!